堀場制作所開發出了光掩模(Reticle/Mask)異物檢查裝置“PR-PD2HR”,該產品的信噪比(S/N)提高到以往機型的5倍,從而提高了異物的檢查能力。可在進行了圖案加工后的光掩模上,檢測到直徑0.35μm的異物。此外,以前機型無法檢查位于表模(Pellicle)的邊框4mm以內的區域,此次通過提高S/N的比數,檢查范圍擴大到了距邊框1mm處。

  此次裝置的照明用光束的光點直徑比以前機型有所縮小,提高了來自測量面的散射光S/N比,提高了異物檢測能力。分別從圖案面(表面)、玻璃面(背面)、表膜面三方面檢測150mm見方的光掩模的100mm×100mm區域時,處理能力(Throughput)可達3片/小時。

  測量時使用的照明光源,是發光波長為488nm、輸出功率為10mW的Ar氣體激光器。該照明光源可支持含局部潔凈技術“SMIF(機械標準介面,Standard Mechanical Interface)”系統在內的各廠商的光掩模盒(Stepper Case)。

  該裝置的尺寸為1710mm×1280mm×1540mm。該公司將從2007年12月開始接受該裝置的訂單。交貨期為接到訂單起的5個月。價格為9800萬日元起。

  該公司將在2007年12月5~7日日本千葉縣幕張Messe會展中心舉辦的“SEMICON JAPAN 2007”展會上展出該產品。
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